溶胶-凝胶法也称为凝胶浸镀法，用凝胶浸镀法从溶液中制备氧化物薄膜，也是一种较老的方法。1846年法国化学家J.J. Ebelmen用SiCl4与乙醇混合后，发现在湿空气中发生水解并形成了凝胶。20 世纪30年代w. Geffcken证实用金属醇盐的水解和凝胶化可以制备氧化物薄膜。1975 年B. E. Yoldas和M. Yamane制得多孔透明氧化铝薄膜。20 世纪80年代以来，在玻璃上制得复合氧化物薄膜。