镀膜玻璃生产原理
镀膜玻璃生产技术目前我国实际生产当中,几乎所有镀膜膜方法都可以生产阳光控制镀膜玻璃,以其他如真空蒸镀法、主要以在线CVD工艺方法和磁控溅射工艺方法两种为主,这主要介绍采用在线CVD工艺生产硅质膜玻璃。
镀膜玻璃生产原理
在线CVD制备硅质膜技术是以硅烷、乙烯为原料,浮法锡槽为制备硅质膜提供了适合的温度和还原性气氛。硅烷、乙烯和氮气按一定的比例进人安置在玻璃板上面的反应器,并以稳定的层流方式流过玻璃板表面,这时,硅烷借助反应器的特殊结构,并在还原气氛的条件下,温度超过400C时开始分解,形成的产物是无定形硅,当温度超过600C时,形成多晶硅。多晶硅沉积在玻璃表面形成硅质膜层,同时硅烷反应后产生的氢被乙烯吸附,生成乙烷和甲烷。这些多余气体和呈褐色的多余硅质粉一起从反应器两侧的排气孔排走
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