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影响化学气相沉积法生产镀膜玻璃质量的因素

文章出处:人气:-发表时间:2022-10-15 09:10【

  1.安装镀膜反应器处的玻璃温度。温度低,膜层薄;温度过高,沉积速率过慢,膜层稀疏,甚至出现针孔或气泡,温度合适时膜层质量最好。其原因是高温时沉积速率对温度不敏感,而在温度适当时,沉积速率大增;低温时,沉积速率又下降。

  2.玻璃的拉引速度。玻璃拉引速度波动,会造成膜层厚度的波动,使膜层薄厚不均。为此,玻璃的拉引速度要控制平稳。

  3.反应副产物及未反应物要及时排出,但排出速度要合理。排出速度过大,影响气体物质在玻璃基片表面不能形成稳定的层流,造成膜层厚度不均,甚至不能成膜;当排出速度过小或没有及时排除,反应副产物及未反应物将分解生成颗粒状物质沉积在膜面上,造成瑕疵。

  目前化学沉积法工业生产的产品,只开发利用在浮法玻璃上覆盖一层牢固的My物质膜层,在理论上及技术上,在浮法玻璃上预先覆盖一层具有某种功能的膜层,然后再覆盖一层My物质膜层,这是完全可能的,这样,化学沉积法就可生产出品种多样、性能独特、功能各异的新颖产品,前景广阔。


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