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真空蒸镀膜玻璃法的种类

文章出处:人气:-发表时间:2022-10-15 09:12【

  为了使蒸发材料气化,在真空蒸发过程中,大多数蒸发材料都必须在1100~1750C温度下进行蒸发,因此,必须采用各种加热方法将蒸发材料加热,通常把真空设备中对蒸发材料进行加热的零件称为蒸发源。蒸发镀膜的蒸发源有多种形式,如电阻加热源、电子東加热源、高频感应加热源等,大面积玻璃基片蒸发镀膜常用电阻加热源。


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