在室温高真空条件下，局部压力对解吸的影响是可以忽略的，解吸是由加热产生的。加热玻璃表面促使吸附的水分子和各种碳氢化合物分子的解吸作用有不同程度的增加，这与温度有关。外加温度在100~850C，需要加热的时间在10~60min。在超高真空下，为了得到原子级清洁表面，加热温度必须高于450C才行。对于较高温度衬底上淀积膜(制备特殊性质的膜)的情形，加热清洗特别有效。但是由于加热的结果，也就会发生某些碳氢化合物聚合成较大的团粒，并同时分解成炭渣。然而高温火焰处理(如氢空气火焰)效果很好，虽然这个过程中表面温度仅约100°C，火焰中存在着各种离子、杂质及高热能分子。一般认为， 火焰的清洁作用与一种辉光放电作用相类似，在辉光放电中，离子化的高能粒子撞击待清洁表面。粒子轰击和表面上离子的复合将释放热量，也有助于解吸污物分子。