超声清洗是一种清除较强黏附污染的方法。这种比较新的工艺产生强的物理清洗作用，因而是振松与去除表面强黏合污染物的非常有效的技术，既可采用无机酸性、碱性和中性清洗液，也可采用有机液。清洗是在盛有清洗液的不锈钢容器中进行的，容器底部或侧壁装有换能器，这些换能器将输人的电振荡转换成机械振动输出。玻璃主要在20~40kHz频率下进行清洁，这些声波的作用是在玻璃表面与清洁液界面处引起空化作用，由小的内向爆裂气泡所产生的瞬间压力可达约100MPa。显而易见，空化作用是这样一个系统中的主要机理，虽然有时也用清洗剂加速乳化或使被释放出来的粒子分散。除了其他一些因素，输人功率的增加将在表面产生一.种较高成穴密度，这反过来又提高了清洁效率，超声清洗也是一一个迅速的过程，约在几秒到几分钟之间。超声清洗用来清除已经过光学加工的玻璃表面的沥青和抛光剂残渣。由于它还经常用于产生残留物很少的表面的清洗工序，所以清洗设备通常放在清洁室内而不放在加工场所。