为了使蒸发材料气化，在真空蒸发过程中，大多数据发材料都必须在10001750C温度下进行蒸发，因此，必须采用各种加热方法将蒸发材料加热，通常把真空设备中对蒸发材料进行加热的零件称为蒸发源。蒸发镀膜的蒸发源有多种形式，如电阻加热源、电子束加热源、高频感应加热源等，大面积玻璃基片蒸发镀膜常用电阻加热源。

　　1电阻蒸发源蒸镀法

　　采用租、钼、钨等高熔点金属，做成适当形状的蒸发源，其上装入待蒸发材料，让气流通过，对蒸发材料进行直接加热蒸发，或者把待蒸发材料放人氧化铝，氧化铍等坩埚中进行间接加热蒸发，这就是电阻加热蒸发法。

　　(1)电阻加热源

　　电阻加热源是用高阻抗材料构成，当电流通过加热源时产生大量的热能，用此热量来加热蒸发材料。加热源是加热体和支撑蒸发材料的支承物，形状有单股丝状螺旋形、多股丝状螺旋形、“凹"形舟、方形舟、圆锥形单股丝等，它们是直接加热蒸发源。间接加热蒸发源由坩埚和加热体组成，将粉状蒸发材料放人坩埚中，加热体装在坩埚外面，用加热体加热坩埚而间接加热粉状蒸发材料。为了加速加热粉状蒸发材料及提高加热效率，将加热体分成两部分，一部分装在坩埚外面，另一部分插人粉状蒸发材料中，共同加热粉状蒸发材料，此种类型则是综合型加热蒸发源。电阻蒸发源形状示意图如图4-10所示。