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镀膜玻璃蒸镀法的方法

文章出处:人气:-发表时间:2022-07-27 08:43【

  为了使蒸发材料气化,在真空蒸发过程中,大多数据发材料都必须在10001750C温度下进行蒸发,因此,必须采用各种加热方法将蒸发材料加热,通常把真空设备中对蒸发材料进行加热的零件称为蒸发源。蒸发镀膜的蒸发源有多种形式,如电阻加热源、电子束加热源、高频感应加热源等,大面积玻璃基片蒸发镀膜常用电阻加热源。

  1电阻蒸发源蒸镀法

  采用租、钼、钨等高熔点金属,做成适当形状的蒸发源,其上装入待蒸发材料,让气流通过,对蒸发材料进行直接加热蒸发,或者把待蒸发材料放人氧化铝,氧化铍等坩埚中进行间接加热蒸发,这就是电阻加热蒸发法。

  (1)电阻加热源

  电阻加热源是用高阻抗材料构成,当电流通过加热源时产生大量的热能,用此热量来加热蒸发材料。加热源是加热体和支撑蒸发材料的支承物,形状有单股丝状螺旋形、多股丝状螺旋形、“凹"形舟、方形舟、圆锥形单股丝等,它们是直接加热蒸发源。间接加热蒸发源由坩埚和加热体组成,将粉状蒸发材料放人坩埚中,加热体装在坩埚外面,用加热体加热坩埚而间接加热粉状蒸发材料。为了加速加热粉状蒸发材料及提高加热效率,将加热体分成两部分,一部分装在坩埚外面,另一部分插人粉状蒸发材料中,共同加热粉状蒸发材料,此种类型则是综合型加热蒸发源。电阻蒸发源形状示意图如图4-10所示。


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